苏锡常首台(套)重大装备是指苏州、无锡、常州三市企业通过研发创新，在品种、规格或技术参数等方面有重大突破，具有自主知识产权的国际或国内首台(套)高端装备和关键部件，整机性能或核心技术指标达到国内领先或国际同类装备先进水平。

　　苏州智程半导体科技股份有限公司是一家专业研发、生产、销售半导体清洗设备的国家级专精特新“小巨人”企业，产品几乎覆盖半导体行业所有湿制程工艺，主导产品全自动化合物半平体槽式清洗机的国内市场占有率排名头部。公司先后承担江苏省重点研发计划、苏州市产业前瞻与共性技术等多个重点项目，并建有江苏省企业工程技术研究中心、苏州市企业技术中心、苏州市工业设计中心等研发平台。公司曾荣获江苏省瞪羚企业、苏州市服务型制造示范企业、知识产权成长型企业、知识产权标杆企业等荣誉称号。

　　全自动单式清洗机(ZCWB-A3)针对大尺寸薄片晶圆全自动清洗，处理能力为8英寸晶圆蕞小厚度150微米、12英寸晶圆蕞小厚度200微米，清洗效率高。公司自主开发的翘曲晶圆吸附技术、精准定位技术、伯努利非接触式抓取技术工艺先进、产能大，填补了国内薄片晶圆8英寸和12英寸全自动清洗装备的空白，处于国内领先地位。

　　截至目前，昆山高新区拥有江苏省首台(套)重大装备21家，占全市比重40%，苏锡常首台(套)重大装备4家，占全市比重45%，均位列全市头部。

　　近年来，昆山高新区始终以首台(套)产品研发和示范应用为突破口，鼓励和培育更多企业加大创新研发投入和装备研发，打造具有核心知识产权的高端装备工程，推动首台(套)研发和应用一体化协同发展，助推昆山高新区经济社会高质量发展。

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