金融界 2024 年 8 月 11 日消息，天眼查知识产权信息显示，苏州三光科技股份有限公司申请一项名为“一种大尺寸碳化硅的电火花线切割加工装置及其加工方法“，公开号 CN9.0，申请日期为 2024 年 6 月。

　　专利摘要显示，本发明提供了一种大尺寸碳化硅的电火花线切割加工装置及其加工方法，包括主体组件，所述主体组件的顶部设置有固定组件，所述固定组件包括底座、固定板、第二驱动电机、旋转台、绝缘过渡板、三爪卡盘、导电过渡板、碳化硅晶锭、支架和电刷；所述底座的顶部固定连接有固定板，所述固定板的一侧安装有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出轴与旋转台固定连接。本发明通过丝杆转动带动电极丝移动对碳化硅进行切割，同时切割过程中利用驱动电机带动碳化硅晶锭转动，实现旋转加工分区切割，降低了电极丝对碳化硅的切割厚度，使得电火花线切割加工方法可以实现大直径碳化硅材料的加工，尤其是突破了 12 寸以上晶圆衬底切割加工的难点。

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